产品与服务Products
半导体 / 新材料 / 真空专用阀是高端制造与先进材料领域的核心流体控制部件,主要用于高真空、超高真空及强腐蚀、高洁净工况下的通路启闭、压力调节与气氛隔离。产品以真空球阀、真空蝶阀、真空隔离阀、控制阀、插板阀、角阀为主,采用不锈钢、哈氏合金等耐蚀耐磨材料,配合低颗粒、低泄漏、长寿命密封结构,满足晶圆制程、薄膜沉积、刻蚀、离子注入及新材料合成、真空镀膜等工艺要求。具备高洁净、零微污染、快响应、长耐久等特性,是半导体设备、新型显示、光伏、特种材料制备等产业链的关键基础件,直接决定工艺稳定性与产品良率。
工艺参数
工艺材质、介质、压力、温度、流量、密度等参数的提供。
本体部分
结构形式、选材、流通能力、内件、密封、温度与压力、阀盖等参数核定。
控制部分
执行器类型、品牌、电气动选择、控制方式、防爆、防护等级等参数确认。
附件配置
手动装置、电磁阀、阀位监测器、定位器、减压阀、保位阀、接头材质等。
维护服务
减少停机时间,确保您的日常运营合规,并以更安全、经济的方式作业。
可靠性服务
使用预测性、数据驱动型服务和程序维护、保全和优化您的资产。
性能服务
根据您的业务目标提供工厂级优化培训和规划。
培训服务
培训新员工、提高现有员工的技能以及了解新技术和新产品。