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半导体 / 新材料 / 真空专用阀是高端制造与先进材料领域的核心流体控制部件，主要用于高真空、超高真空及强腐蚀、高洁净工况下的通路启闭、压力调节与气氛隔离。产品以真空球阀、真空蝶阀、真空隔离阀、控制阀、插板阀、角阀为主，采用不锈钢、哈氏合金等耐蚀耐磨材料，配合低颗粒、低泄漏、长寿命密封结构，满足晶圆制程、薄膜沉积、刻蚀、离子注入及新材料合成、真空镀膜等工艺要求。具备高洁净、零微污染、快响应、长耐久等特性，是半导体设备、新型显示、光伏、特种材料制备等产业链的关键基础件，直接决定工艺稳定性与产品良率。
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